[이데일리 이지은 기자] 주사전자현미경(SEM) 기반 융복합 산업장비 전문기업 코셈(360350)이 AP시스템(265520)에 ‘이온빔 모듈(Ion Beam Module)’ 3대를 납품하며 고부가가치 산업용 핵심 부품과 모듈 시장에 진출했다고 23일 밝혔다.

코셈은 지난해 반도체 및 디스플레이 장비 선도기업인 AP시스템과 이온빔 모듈 연구개발 위탁계약을 체결한 바 있다. 이후 코셈은 독자적 이온식각 기술이 적용된 이온빔 모듈 개발에 성공했고, 올해 1월 3대의 제품을 성공적으로 공급했다.

회사 측은 단순 시제품 공급을 넘어 실제 산업 현장의 양산 공정 장비에 적용 가능한 기술력을 증명했다는 점에서 고무적이라고 설명했다.

특히 해당 이온빔 모듈은 향후 AP시스템의 차세대 반도체 공장 장비 내 핵심 컴포넌트로 탑재된다. 공정 정밀도를 획기적으로 높이는 역할을 수행할 예정이다.

코셈 관계자는 “외산 의존도가 높았던 반도체 핵심 부품의 국산화를 실현했다는 점에서 기술적 및 경제적 가치가 크다”며 “올해를 기점으로 대기압 전자현미경 기술을 활용해 반도체, 이차전지, 바이오 분야까지 확대 적용하여 시장 점유율을 공격적으로 높여 나가겠다”고 말했다.