중국 국기. (사진=AFP)
중국 당국이 요구하는 국산화 기준을 충족하지 못한 신청은 대체로 반려된다. 궁극적으로는 반도체 장비 100% 국산화를 달성하는 것이 중국 정부의 목표다. 다만 중국산 장비가 아직 충분히 확보되지 않은 첨단 반도체 생산 라인에 한해서는 기준을 완화해주는 것으로 전해졌다.
미·중 갈등으로 2023년 미국산 장비 수입이 제한되자 중국은 기술 자립에 속도를 내고 있다. 중국 정부는 최근들어 미국을 비롯해 한국과 일본, 유럽 등에서 수급이 가능하더라도 중국산 장비를 선택하도록 압박하고 있다. 올해 중국 국유기업은 중국산 노광 장비와 부품 421건을 발주해 총 약 8억5000만위안(약 1800억원)의 역대 최대 주문금액을 기록했다.
일례로 중국 최대 반도체 위탁생산(파운드리) 업체 SMIC(중신궈지)는 수년 전까지만 해도 수입 반도체 장비만 사용했을 뿐 중국산 장비 업체에는 기회를 주지 않았었다. 최근에는 나우라, AMEC 등 중국 업체들이 SMIC의 7㎚(나노미터·1나노=10억분의 1m) 공정 식각 장비를 시험하고 있다. 기존에는 주로 램 리서치와 도쿄일렉트릭의 식각 장비를 사용했었다.
반도체 장비 국산화 정책 수혜를 받은 나우라의 올해 상반기 매출은 전년동기대비 30% 증가한 160억위안(약 3조3000억원)을 기록했다. 같은 기간 AMEC 매출도 44% 증가한 50억위안(약 1조원)으로 올라섰다.
중국 반도체 업계 관계자는 “정부가 반도체 제조 시설에 최소 50%의 국산 장비 사용을 의무화하면서 나우라의 식각 장비 개선 속도가 빨라졌다”고 말했다.
로이터는 중국산 장비 50% 의무화 정책을 두고 “외국 기술 의존에서 벗어나 반도체 공급망 자립을 추구하는 중국이 도입한 중대한 지침 중 하나”라고 평가했다.









