[이데일리 김윤지 기자] 도널드 트럼프 미국 행정부가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML에 최첨단 장비가 중국에 반입됐을 가능성에 대한 우려를 전달했다고 18일(현지시간) 블룸버그통신이 보도했다.

소식통들에 따르면 하워드 러트닉 미 상무장관은 최근 여러 차례 회의에서 ASML 고위 경영진에게 ASML의 최첨단 극자외선 노광장비(EUV) 장비가 미국 주도의 대중 수출통제를 위반해 중국으로 들어갔을 가능성을 제기했다. ASML은 미국의 대중 수출 제한으로 중국에 EUV 장비를 수출한 적이 없다.

미 행정부 고위 관계자들은 ASML이 EUV 장비 관련 특수 장비와 기타 부품을 중국에 수출했다는 증거가 있다고 주장하고 있다. 미국 측은 이를 ASML이 선의로 행동하지 않고 있다는 정황으로 보고 있다.

다만 이들 관계자는 증거 제시를 거부했으며, 실제 EUV 시스템이 중국에 있다는 증거를 봤는지에 대해서도 밝히지 않았다고 블룸버그는 전했다.

ASML은 러트닉 장관의 문제 제기를 반박한 것으로 전해진다. ASML은 EUV 장비가 대형 버스 크기에 달하는 데다 제한된 수량만 생산되며 ASML 직원들의 지속적인 유지·관리가 필요한 만큼 중국 내 존재 가능성을 일축했다.

러트닉 장관과 ASML 경영진의 4월 회의 이후 ASML은 워싱턴에서 ‘중국 내 ASML EUV 시스템 징후 없음’이라는 제목의 문건을 회람하기 시작한 것으로 전해진다. 해당 문건에 따르면 전 세계에서 운용 중인 ASML EUV 장비는 314대로 26대는 퇴역했으며 중국에는 한 대도 없다. ASML은 또 EUV 장비의 연결 중단, 이상 작동, 접속 손실 등을 자동으로 감지할 수 있으며, 고객이 ASML의 개입 없이 EUV 시스템을 제거하거나 운송·재배치할 수 없다고 설명했다.

ASML 대변인은 “ASML은 전 세계 정부 지도자들과 투명하고 열린 대화를 정기적으로 하고 있다”며 “우리는 미국과 네덜란드의 수출통제 규정 뒤에 있는 국가안보 고려를 인식하고 있으며, 적용 가능한 모든 규정을 준수하는 데 전적으로 전념하고 있다”고 밝혔다. 그는 또 ASML이 과거에도 “중국 관련 수출통제 미준수에 대한 근거 없는 소문 여러 건을 반박한 바 있으며 그 소문들은 부정확했고 회사 평판에 해를 끼쳤다”고 덧붙였다.

ASML은 이전에도 미국 당국자들로부터 자사의 사업 활동이 미국의 국가안보와 기술 정책을 훼손한다는 의혹을 받아왔다. ASML이 트럼프 행정부의 우려를 해소하지 못할 경우 미국과 유럽연합(EU) 불안정한 관계에 추가적인 부담 요소로 작용할 수 있다고 블룸버그는 짚었다.