ASML 직원들이 EUV 노광장비를 살펴보고 있다. (사진=ASML)
로이터는 앞서 디인포메이션이 언급한 무명의 국영 기업이 올해 약 5대, 2027년 약 20대의 DUV 장비 생산을 계획하고 있다고 전한 내용을 재확인하면서, 이번 보도를 통해 처음으로 해당 기업의 실체를 공개했다고 밝혔다.
◇위량성·SMEE서 인력 흡수…시카리어 계열사와 주소 공유
아이성나는 2023년 8월 설립됐으며 등록자본금은 70억 위안(약 1조5000억원)으로, 상하이전기홀딩과 상하이국제신탁 자회사 등 국영 주주 2곳이 지분을 보유하고 있는 것으로 확인됐다.
아이성나는 별도 웹사이트가 없고 사업 내용도 공개하지 않아 알려진 바가 거의 없는 회사다. 소식통은 이 회사가 노광장비 스타트업 위량성(Yuliangsheng)과 상하이마이크로전자장비(SMEE)의 개발팀을 흡수했다고 전했다. 위량성은 지난해 DUV 프로토타입 테스트에 착수한 바 있으며, 화웨이가 지원하는 장비업체 시카리어(SiCarrier)의 계열사다. 기업 및 채용 기록에 따르면 아이성나와 위량성은 상하이 내 같은 주소를 공유하고 있는 것으로 나타났다.
아이성나와 주주사, SMEE, 위량성 측은 모두 로이터의 논평 요청에 응하지 않았다.
◇SMIC·화훙·창신메모리에 연내 공급 전망
디인포메이션은 이번에 중국산 DUV 장비가 올해 안에 중국 대표 파운드리인 SMIC, 화훙반도체(Hua Hong Semiconductor), 메모리 반도체 업체 창신메모리(CXMT) 등 중국 주요 반도체 업체에 납품될 것으로 예상된다고 보도했다. ASML과 SMIC, 화훙, 창신메모리 모두 논평 요청에는 응하지 않았다.
이머전 DUV 장비는 투영렌즈와 실리콘 웨이퍼 사이에 물을 층으로 활용해 기존 건식 장비보다 더 미세한 회로 패턴을 인쇄하는 기술이다. 폭넓은 종류의 반도체 생산에 쓰이며, 동일 층을 반복 노광하는 멀티패터닝 기법을 통해 보다 첨단 반도체 생산에도 활용될 수 있다.
◇ASML 주가 추가 하락…“양산 성공까지는 갈 길 멀어”
전날 디인포메이션 보도로 8% 급락했던 ASML 주가는 이날 네덜란드 증시에서 암스테르담 현지시간 오전 11시6분 기준 1.6% 추가 하락했다. 이는 유럽 반도체 섹터 전반의 흐름과 비슷하지만, 범유럽 스톡스(STOXX)600 지수 대비로는 부진한 성적이다.
로이터는 아이성나의 DUV 장비가 추가 테스트가 필요한 단계이며 ASML의 경쟁 모델 수준에는 아직 크게 못 미친다고 전했다. 다만 장비 상용화에 성공할 경우, 서방 정부가 외국산 노광장비에 대한 수출이나 유지보수 지원을 추가로 제한할 경우를 대비한 대안 공급처를 중국 반도체 업체들에 제공하게 될 것이라고 분석했다.
중국은 미국의 제재로 ASML의 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비 구매가 금지돼 있으며, 일부 첨단 DUV 장비 역시 네덜란드 정부의 수출 통제로 접근이 제한된 상태다. 그럼에도 중국은 올 상반기 기준 ASML 순매출의 약 16%를 차지하는 핵심 시장으로 남아있다. EUV 시스템은 금지됐지만 중국 반도체 업체들은 상대적으로 덜 첨단인 DUV 장비를 여전히 활발히 사들이고 있다.
로이터는 지난해 12월 소식통을 인용해 중국이 최첨단 반도체 제조의 핵심 장비인 EUV 시스템 프로토타입 제작에 성공했으나, 양산까지는 수년이 더 걸릴 것으로 보인다고 보도한 바 있다.
이 같은 시장 반응에도 불구하고 애널리스트들은 이번 소식이 ASML의 중장기 실적 궤도에 미칠 영향은 제한적일 것으로 내다봤다. JP모건체이스 애널리스트들은 28일자 보고서에서 “소수의 이머전 DUV 장비를 생산하는 것과, 수천 회에 걸친 웨이퍼 공정에서 수율·오버레이·처리량·신뢰성이 관건이 되는 대량 양산용 장비를 만드는 것은 별개의 문제”라고 짚었다.
(사진=AFP)
