예스티, 세계 최초 125매 고압 어닐링 장비(HPA) 수주

경제

이데일리,

2025년 12월 15일, 오전 11:29

[이데일리 김영환 기자] 예스티가 글로벌 메모리 반도체 기업으로부터 125매 고압 어닐링 장비(HPA)를 세계 최초로 수주하며 고압 어닐링 장비 시장에 본격 진입했다고 15일 밝혔다. 해당 장비는 2026년 하반기 납품될 예정이다.

예스티 관계자는 “이번 수주와 내년 2월 첫 장비 출하를 시작으로 2026년 양산 장비 공급이 확대되면서 고객 저변이 빠르게 넓어질 것”이라며 “여러 글로벌 고객사들과 다양한 공정 적용을 위한 테스트가 매우 활발히 진행되고 있다”고 전했다.

예스티는 그동안 여러 국내외 글로벌 반도체 기업들과 HPA 상용화 테스트를 진행해 왔다. 이번 수주 외에도 또다른 글로벌 반도체 기업에 양산 테스트용 첫 장비를 늦어도 내년 2월 이전 공급할 예정이다. 해당 고객사는 장비 설치를 위한 유틸리티 준비 작업을 진행 중이다.

예스티는 지난 25년간 오토클레이브, 웨이퍼 가압 장비, PCO 등 고압 챔버 원천 기술을 꾸준히 내재화해 왔으며 이를 기반으로 2020년부터 고압 어닐링 장비 개발에 착수했다.

그 결과 기존 대비 유지보수 용이성, 뛰어난 배치 균일도, 생산성 향상을 모두 달성한 차세대 장비를 개발했으며 2023년에는 기존 최대 처리량(75매) 대비 약 60% 높은 125매 단일 배치 처리 기술을 세계 최초로 구현했다.

최근 수주 흐름도 가파르다. 예스티는 한국알박으로부터 전년도 매출의 10% 이상 규모의 수주를 확보했으며 폴더블폰용 UTG 부품 생산 장비 등 반도체·디스플레이 분야 전반에서 수주 증가세가 이어지고 있다. 회사는 이번 HPA 수주를 기점으로 2026년 실적의 본격적인 도약을 기대하고 있다.

고압 어닐링 기술을 바탕으로 한 고압 산화 공정 장비(HPO) 상용화도 속도를 내고 있다. 예스티는 알파기 제작을 완료해 공정 조건을 확보했으며 글로벌 고객사들과 평가를 진행 중이다. 내년 초에는 고객 양산 테스트가 가능한 양산기 제작을 마칠 계획이다. 지난 8월 말에는 HPO 기술력을 인정받아 HPO 개발 국책과제 주관기관으로도 선정됐다.

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