[이데일리 이소현 기자] 한국원자력연구원이 반도체·디스플레이 공정에 활용되는 진공펌프 핵심 기술을 국내 기업에 이전했다.

원자력연은 고효율 ‘가압·진공 유체이송 시스템’ 기술을 벡스코에 이전하는 기술실시 계약을 체결했다고 5일 밝혔다.

계약 조건은 정액 기술료 1억원과 매출액의 1.5%를 경상 기술료로 받는 방식이며, 관련 특허 9건과 노하우 1건이 포함됐다. 기술 실시 기간은 10년이다.

벡스코는 진공펌프와 진공 시스템을 생산하는 기업으로, 이번 기술 이전을 통해 반도체·디스플레이 공정용 고효율 진공펌프와 초고진공(UHV) 제어 시스템 분야로 사업 영역을 확대할 계획이다.

이번에 이전된 기술은 로터리 피스톤 방식의 유체이송 시스템으로, 하나의 장치에서 유체 흡입·가압·이송·진공 형성을 동시에 구현할 수 있는 것이 특징이다.

원통 내부에서 회전체(로터)가 회전하면서 압력 차를 만들어 유체를 이동시키는 구조로, 고유량·고압 성능과 함께 저진동·저소음을 동시에 달성했다. 점도가 높은 유체도 안정적으로 처리할 수 있으며, 유입·배출 방향 전환을 통해 양방향 이송도 가능하다.

기존 회전식 펌프는 고압 형성에 한계가 있고, 왕복식 펌프는 구조가 복잡하고 유량 제약이 있다는 단점이 있었으나, 해당 기술은 이를 개선하고 로터를 추가해 성능을 확장할 수 있도록 설계됐다.

특히 초고진공 환경 구현이 가능한 점에서 반도체·디스플레이 제조 공정에 적용성이 높은 것으로 평가된다.

그동안 핵심 유체이송 장비는 해외 제품 의존도가 높았으나, 이번 기술 이전으로 국산화 기반이 마련돼 비용 절감과 공급망 안정성 확보에 기여할 것으로 기대된다.

해당 기술은 반도체·디스플레이뿐 아니라 에너지, 화학 등 다양한 산업 분야로의 확장 가능성도 있다.

임인철 원자력연 부원장은 “원자력 연구 과정에서 확보한 고부가가치 원천기술이 산업 현장으로 확산되는 계기”라며 “핵심 장비 국산화를 통해 기술 자립도를 높일 수 있을 것”이라고 말했다.