과학기술정보통신부는 6일 충북 음성군 DB하이텍 상우캠퍼스에서 ‘DB하이텍-모아팹 중고 장비 이전 협약식’을 열었다. 이날 DB하이텍은 8인치 반도체 공정용 고온 열처리 증착 장비와 건식 식각·표면 코팅 장비를 각각 나노종합기술원과 나노융합기술원에 이전했다.
이 장비들은 앞으로 공공 나노팹에서 반도체 공정 연구와 기술 실증, 소부장 기업 지원 등에 활용된다.
구혁채 과학기술정보통신부 제1차관이 6일 오전 충청북도 음성군 DB하이텍 상우캠퍼스에서 열린 'DB하이텍-모아팹 중고장비 이전 협약식' 에서 기념촬영을 하고 있다. 왼쪽부터 신중식 DB하이텍 구매물류팀장 상무, 백성기 나노융합기술원 부원장, 이경엽 국가나노인프라협의체 사무국장, 양승주 DB하이텍 CFO 부사장, 이병훈 나노융합기술원장, 조기석 DB하이텍 대표이사 사장, 구혁채 제1차관, 박흥수 나노종합기술원장, 임성규 나노종합기술원 본부장, 김재승 DB하이텍 생산본부장 상무, 김동준 과학기술정보통신부 원천기술과장. 사진=과기정통부
1997년 설립된 DB하이텍은 국내 1세대 시스템반도체 기업으로, 전력반도체와 아날로그 반도체 등 성숙 공정 분야에서 경쟁력을 갖추고 있다. 파운드리 사업과 함께 디스플레이 구동칩, 센서 IC 등 자체 설계 제품을 판매하는 브랜드 사업도 운영하고 있다.
이번 장비 이전은 과기정통부가 지난해 3월 삼성전자, SK하이닉스, DB하이텍 등 국내 주요 반도체 기업과 체결한 업무협약의 후속 조치다. 반도체 기업이 보유한 유휴 장비를 공공 연구시설로 이전해 산업계와 연구계 간 장비 격차를 줄이는 것이 핵심이다.
특히 이번에 이전되는 증착 장비는 기존 나노종합기술원이 20년 이상 된 장비를 사용하던 분야에 투입된다. 초소형 부품과 센서 구조막 형성에 활용되는 장비로, 도입 이후 관련 연구 생산성이 두 배 수준으로 향상될 것으로 기대된다.
건식 식각·표면 코팅 장비 역시 초미세 반도체 부품 제작 과정에서 활용돼 연구 품질 향상과 공정 안정화에 기여할 전망이다.
정부는 기업 유휴 장비 활용을 확대하기 위해 올해부터 2033년까지 총 750억원 규모의 ‘모아팹 중고 장비 활용 지원사업’을 추진한다. 전국 공공 나노팹을 연결하는 플랫폼을 구축하고 기업 장비 이전과 설치 비용 등을 지원할 계획이다.
이를 통해 인공지능(AI), 첨단바이오, 양자 등 미래 산업의 기반이 되는 나노·반도체 기술 경쟁력을 높이고, 중소 연구기관과 소부장 기업의 개발 환경도 개선한다는 방침이다.
구혁채 차관은 “DB하이텍의 중고 장비 이전은 민관이 힘을 모아 반도체 생태계의 선순환 구조를 만드는 상생 협력 모델”이라며 “공공 나노팹 연구 지원 인프라를 고도화하고 기술 혁신과 전문 인력 양성을 적극 지원하겠다”고 말했다.
